[发明专利]一种光学加工系统和方法

摘要

一种光学加工系统和方法，该系统包括光学系统、载台、驱动系统，以及控制系统，该光学系统包括一空间光调制器作为该光学系统图形发生装置，所述空间光调制器具有若干像素单元，每个像素单元为反射镜，所述空间光调制器在进行图形生成时，参与构建图形的像素单元的反射镜统一翻转相同的角度γ，使得该空间光调制器构成一个以γ为闪耀角的光栅结构，所述光栅结构对入射光进行衍射分光，使光学系统获得至少两束能够形成干涉的相干光，所述光学系统利用上述相干光完成干涉直写复合光刻，从而使普通的激光直写技术的分辨率大大提高。

主权项

一种光学加工系统，包括光学系统、载台、驱动该光学系统和该载台做相对移动的驱动系统，以及控制该光学系统和该驱动系统的控制系统，该光学系统包括一空间光调制器作为该光学系统图形发生装置，所述空间光调制器具有若干像素单元，每个像素单元为反射镜，其特征在于：所述空间光调制器在进行图形生成时，参与构建图形的像素单元的反射镜统一翻转相同的角度γ，使得该空间光调制器构成一个以γ为闪耀角的光栅结构，所述光栅结构对入射光进行衍射分光，使光学系统获得至少两束能够形成干涉的相干光，所述光学系统利用上述相干光完成干涉直写复合光刻。