[发明专利]CMOS晶圆自动测试直针自动测试插座有效
| 申请号： | 201310393484.6 | 申请日： | 2013-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN103424681A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 朱小刚;柳慧敏 | 申请（专利权）人： | 苏州创瑞机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CMOS晶圆自动测试直针自动测试插座，包括相互配合的灯箱和测试底座，所述底座包括从上到下依次分布的PCB转接板、测试单元和测试镜头，所述测试镜头前方设置主要由光源组成的灯箱，其中，所述测试单元包括复数根测试探针以及用以安装测试探针的探针保持主体、探针保持板和探针保持框，并且，在测试时，被测试晶圆设于测试镜头和测试单元之间，且测试镜头与光源之间还设有对比图像。本发明实现了CMOS晶圆的自动化测试，同时使CMOS晶圆测试简单化，测试操作简单易行，且机械结构简单，适于多种规格晶圆的测试。 | ||
| 搜索关键词： | cmos 自动 测试 插座 | ||
【主权项】：
一种CMOS晶圆自动测试直针自动测试插座，包括相互配合的灯箱和测试底座，其特征在于，所述底座包括从上到下依次分布的PCB转接板、测试单元和测试镜头，所述测试镜头前方设置有主要由光源组成的灯箱，其中，所述测试单元包括复数根测试探针以及用以安装测试探针的探针保持主体、探针保持板和探针保持框，并且，在测试时，被测试晶圆设于测试镜头和测试单元之间，且测试镜头与光源之间还设有对比图像。
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