[发明专利]高精度气体温度控制系统及方法有效
| 申请号： | 201310380239.1 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104423396A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 钟凌;聂宏飞;杨志斌;李天水 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19;G05D23/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高精度气体温度控制系统及方法,所述系统包括：气体传输管路、温度控制回路和控制器，其中，温度控制回路由两道主控温回路与恒温回路组成，主控温回路包括制冷回路和精调回路，气体依次通过制冷回路和精调回路控温，再经过恒温回路使气温恒定；安装在各气路和管路上的温度传感器，实现对各个温控关键位置的监控，既使系统运行状态实时可控，又能确保系统的稳定性；通过专家级PID反馈控制算法来计算闭环传递函数从而计算出精准的控制输出量，既能加快计算速度，又能保证计算的正确性，并具有抗干扰能力和较强的鲁棒性，使最终气体温度精度达到第二预设精度范围。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 气体 温度 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
一种高精度气体温度控制系统，其特征在于，包括：气体传输管路；与所述气体传输管路连通的温度控制回路，供冷却液在其中流动，所述冷却液与气体传输管路中的气体混合，以通过热交换调节气体传输管路中的气体的温度；控制器，用于调节所述温度控制回路中冷却液的温度。
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