[发明专利]激光切割用晶圆保护膜组合物和半导体元件的制造方法有效
| 申请号： | 201310379594.7 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN103666136B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 权基真;梁振锡;李京浩 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C09D129/04 | 分类号： | C09D129/04;C09D139/06;C09D133/02;C09D171/08;C09D101/28;C09D101/26;C09D179/04;C09D5/08;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐川;张颖玲 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了激光切割用晶圆保护膜组合物和半导体元件的制造方法，所述激光切割用晶圆保护膜组合物包含：含有水溶性树脂的树脂、防腐剂以及作为水或水与有机溶剂的混合物的溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 切割 用晶圆 保护膜 组合 半导体 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光切割用晶圆保护膜组合物，其特征在于，包含：含有水溶性树脂的树脂、防腐剂以及作为水或水与有机溶剂的混合物的溶剂，所述防腐剂是选自由马来酸、苯并三唑和无机酸盐组成的组中的一种以上，所述无机酸盐选自由无机酸的钠盐、钾盐、铬盐和铵盐组成的组中，所述无机酸选自由硫酸和磷酸组成的组中。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D129-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以醇、醚、醛、酮、醛缩醇或酮缩醇基为终端；基于不饱和醇与饱和羧酸的酯的水解聚合物
C09D129-02 .不饱和醇的均聚物或共聚物
C09D129-10 .不饱和醚的均聚物或共聚物
C09D129-12 .不饱和酮的均聚物或共聚物
C09D129-14 .由不饱和醛缩醇或酮缩醇聚合，或由不饱和醇聚合物经后处理得到的醛缩醇或酮缩醇的均聚物或共聚物
C09D129-04 ..聚乙烯醇；不饱和醇与饱和羧酸的酯的部分水解的均聚物或共聚物
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D129-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以醇、醚、醛、酮、醛缩醇或酮缩醇基为终端；基于不饱和醇与饱和羧酸的酯的水解聚合物
C09D129-02 .不饱和醇的均聚物或共聚物
C09D129-10 .不饱和醚的均聚物或共聚物
C09D129-12 .不饱和酮的均聚物或共聚物
C09D129-14 .由不饱和醛缩醇或酮缩醇聚合，或由不饱和醇聚合物经后处理得到的醛缩醇或酮缩醇的均聚物或共聚物
C09D129-04 ..聚乙烯醇；不饱和醇与饱和羧酸的酯的部分水解的均聚物或共聚物
