[发明专利]光学部件和制造该光学部件的方法有效
申请号: | 201310374058.8 | 申请日: | 2008-01-22 |
公开(公告)号: | CN103454702A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 张祖依;田中博幸;山田雅之 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G02B1/11 | 分类号: | G02B1/11;C03C17/34 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供包括氧化物层的光学部件,该氧化物层具有稳定的微细凹凸结构并且耐久性优异。该光学部件包括基底材料和在该基底材料表面上的减反射涂层。该减反射涂层至少包括表面上具有微细凹凸结构的氧化物层,且该氧化物层含有磷酸盐化合物。此外,提供制造该光学部件的方法。 | ||
搜索关键词: | 光学 部件 制造 方法 | ||
【主权项】:
光学部件,包括:基底材料;和在该基底材料表面上的减反射涂层,其中,该减反射涂层至少包括具有氧化铝的无定形层和该无定形层的表面上由氧化铝的结晶形成的微细凹凸结构的金属氧化物层,其中该微细凹凸结构的表面由磷酸铝制成,该无定形层具有含磷酸铝的致密层,该致密层通过该无定形层与渗透该微细凹凸结构的间隙的磷酸化合物的反应形成。
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