[发明专利]单一高次谐波紫外单色光源

摘要

一种单一高次谐波紫外单色光源，包括800nm强场偏振激光、光束整形器、光能量调控器、光相位调制器、汇聚透镜、长程相互作用气体盒、金属铝膜、真空腔体等组成。本发明能产生单一高次谐波。这种高单色高相干的紫外辐射可用于微纳结构的高精度加工和探测，以及高精度的全息相干成像等领域，应用广泛。

主权项

一种单一高次谐波紫外单色光源，特征在于其构成是：包括800nm强场偏振激光（1），沿该800nm强场偏振激光（1）的输出方向依次是同光轴的光束整形器（2）、光能量调控器（3）、汇聚透镜（4）、光相位调制器（5）、长程相互作用气体盒（6）和金属铝膜（7），所述的光束整形器（2）是一个带圆形毛边的通孔光阑，其通孔直径略小于激光光束的直径；所述的光能量调控器（3）由半波片（11）和检偏器（12）组成，所述的半波片（11）具有电控旋转机构，所述的光相位调制器（5）由依次的倍频晶体（13）、延时晶体（14）与和频晶体（15）组成，所述的延时晶体（14）具有电控转动机构；所述的长程相互作用气体盒（6）由PVC塑料圆筒（16）和置于该塑料圆筒（16）两端的密封活塞（17）构成，两端的密封活塞（17）具有由薄钢片（18）密封的激光通道，两端的密封活塞（17）和塑料圆筒（16）之间构成气体盒腔体，该腔体经进气管（19）和进气阀门（21）与气瓶（20）相通，气体盒长度由两端的密封活塞（17）之间的距离来调节，气压由进气阀门（21）控制；所述的光相位调制器（5）、长程相互作用气体盒（6）置于第二真空腔体（10）内，所述的金属铝膜（7）为第二真空腔体（10）的输出窗口。