[发明专利]一种电磁驱动微型二维扫描镜装置有效
| 申请号： | 201310351183.7 | 申请日： | 2013-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN103399402A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张弛;薛飞;钟贤岱;王中林 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁驱动微型二维扫描镜装置，属于微扫描技术和MEMS技术领域，采用体硅及表面微加工技术制作，是一种带两对正交磁极的微型二维扫描镜装置。该电磁驱动微型二维扫描镜装置包括：反射镜面、内基板、外基板、基座、内扭转梁、外扭转梁；所述反射镜面位于内基板上且连为一体，内基板通过一对位置相对的内扭转梁与外基板相连，外基板通过一对位置相对的外扭转梁与固定的基座连接，内扭转梁与外扭转梁相正交。微型二维扫描镜器件采用硬铝结构封装，内部采用两组磁极和磁轭形成正交磁场，输入信号由封装结构侧壁引入，封装结构顶端采用透明玻璃封盖。本发明致动效率高，扭转力大，结构紧凑，可实现较大角度的二维扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电磁 驱动 微型 二维 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种电磁驱动微型二维扫描镜装置，其包括：反射镜面(1)、内基板(2)、外基板(3)、基座(4)、内扭转梁(5)、外扭转梁(6)；其中，所述反射镜面(1)位于内基板(2)上且连为一体，内基板(2)通过一对位置相对的内扭转梁(5)与外基板(3)相连，外基板(3)通过一对位置相对的外扭转梁(6)与固定的基座(4)连接，内扭转梁(5)与外扭转梁(6)相正交。
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