[发明专利]沿扫描方向进行均匀性补偿装置及利用该装置进行均匀性补偿方法有效
| 申请号： | 201310349453.0 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN103412467A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 徐珍华 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人： | 钟作亮 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种沿扫描方向进行均匀性补偿装置及利用该装置进行均匀性补偿方法，其中该装置包括使用空间光调制器作为图形发生器的扫描式曝光系统和检测扫描式曝光系统成像后的沿X轴方向的一维光强度分布信息的光测器，还包括有处理光测器信号并通过相应计算得到均匀性补偿图像的处理器，该处理器将计算得到的均匀性补偿图像加载到空间光调制器的扫描路径上，使空间光调制器改变图像的扫描路径，从而改变沿扫描路径的光强积分并实现整个图形曝光区域的光能量一致。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 方向 进行 均匀 补偿 装置 利用 方法 | ||
【主权项】：
沿扫描方向进行均匀性补偿装置，其特征在于包括使用空间光调制器作为图形发生器的扫描式曝光系统和检测扫描式曝光系统成像后的沿X轴方向的一维光强度分布信息的光测器，还包括有处理光测器信号并通过相应计算得到均匀性补偿图像的处理器，该处理器将计算得到的均匀性补偿图像加载到空间光调制器的扫描路径上，使空间光调制器改变图像的扫描路径，从而改变沿扫描路径的光强积分并实现整个图形曝光区域的光能量一致。
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