[发明专利]一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺

摘要

一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺，是对经过第四次P4激光切边后的TCO基板玻璃进行清洗的清洗工艺方法，属于太阳能电池生产线第三道清洗工艺，主要通过高压喷淋，二次喷淋，漂洗，风刀烘干等工艺方法，去除经过P4激光切边后的TCO玻璃表面残留的微粒、碎屑等杂质。能够有效提高生产线后续工艺的基板和背板玻璃叠片质量，对提高电池的效率起到至关重要的作用。

主权项

一种用于对经过激光刻蚀清边后TCO基板玻璃的清洗工艺，其特征在于：本工艺是借助在TCO基板玻璃传送辊（9）上依次设置的预喷淋清洗腔室（1）、高压喷淋清洗腔室（2）、缓冲腔室（3）、二次喷淋清洗腔室（8）、漂洗腔室（4）及烘干腔室（5）实现的，所述的工艺步骤中包括：A、预喷淋清洗：将预喷淋清洗腔室（1）控制在常温状态下，将去离子水作为清洗液、将在TCO基板玻璃传送辊上、下方90‑110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行预喷淋，其中，每组喷嘴组件中包括18‑25个扇形喷嘴，每个喷嘴在0.12‑0.16Mpa压力下的流量为1‑1.1 L/Min；B、高压喷淋清洗：将高压喷淋清洗腔室（2）控制在常温状态下，以去离子水作为清洗剂、将在传送辊上方90‑110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行喷淋清洗，其中，每组喷嘴组件中包括18‑25个扇形喷嘴，每个喷嘴在2‑3.5Mpa压力下的流量为1.81‑2.37 L/Min；C、沥水：将缓冲腔室控制在常温状态，借助传送辊将基板玻璃从缓冲腔室的入口送至出口，再此过程中，基板玻璃上残留的水分落至腔室底部以清除高压喷淋清洗后残留的水分；D、二次喷淋清洗：将二次喷淋清洗腔室（8）控制在常温下，将去离子水作为喷淋液、将在传送辊上、下方90‑110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行喷淋，其中，每组喷嘴组件中包括18‑25个扇形喷嘴，每个喷嘴在0.3‑0.4Mpa压力下的流量为1‑1.15 L/Min；E、漂洗：在漂洗腔室（4）中，将TCO基板玻璃上、下表面漂净；F、烘干：在烘干腔室（5）中，将TCO基板玻璃上、下表面烘干，完成整个清洗工艺过程。