[发明专利]一种基于级联马赫-曾德干涉仪型可重构梳状滤波器及其制备方法

摘要

一种基于级联马赫-曾德干涉仪型可重构梳状滤波器及其制备方法，包括：平面光波光路PLC芯片和第一光纤阵列和第二光纤阵列，所述平面光波光路PLC芯片包括：硅衬底，在硅衬底上设有二氧化硅缓冲层，在二氧化硅缓冲层上设有波导，在波导上设有覆盖层，所述波导包括输入级Y分支、第一长度固定臂和第二长度固定臂、第一开放臂、第二开放臂、第三开放臂、和第四开放臂、第一级3dB耦合器、第二级3dB耦合器和输出级3dB耦合器。制备方法为：在硅衬底上制备缓冲层、波导，得到PLC芯片部分，切片研磨后和光纤阵列耦合，最后将相应的光纤连接。本发明可以实现可重构、相位精细可调、平顶型滤波、低非线性输出。

主权项

一种基于级联马赫‑曾德干涉仪型可重构梳状滤波器及其制备方法，其特征在于，包括：平面光波光路PLC芯片和第一光纤阵列（1）和第二光纤阵列（2），所述平面光波光路PLC芯片包括：硅衬底（7），在硅衬底（7）上设有二氧化硅缓冲层（8），在二氧化硅缓冲层（8）上设有波导（10），在波导（10）上设有覆盖层（11），所述波导（10）包括输入级Y分支（3）、第一长度固定臂（302）和第二长度固定臂（502）、第一开放臂（301）、第二开放臂（401）、第三开放臂（501）、和第四开放臂（601）、第一级3dB耦合器（4）和第二级3dB耦合器（6）及输出级3dB耦合器（5），所述第一长度固定臂（302）的两端分别与输入级Y分支（3）的下输出端、第二级3dB耦合器（4）的上输入端连接，输入级Y分支（3）的上输出端与第一开放臂（301）的一端连接，第一级3dB耦合器（4）的下输入端与第二开放臂（401）的一端连接，第三开放臂（501）一端与输出级3dB耦合器（5）的上输入端连接，第二固定臂（502）的两端分别与输出级3dB耦合器（5）的下输入端、第二级3dB耦合器（6）的上输出端连接，第二级3dB耦合器（6）的下输出端与第四开放臂（601）的一端连接；第一光纤阵列（1）上的第一通道（101）与输入级Y分支（3）的输入端口连接，第一光纤阵列（1）上的第三通道（103）的两端分别与第二开放臂（401）的另一端、第二光纤阵列（2）上的第一通道（201）的一端连接，第一光纤阵列（1）上的第四通道（104）的一端与输出级3dB耦合器（5）的上输出端口连接，第一光纤阵列（1）上的第五通道（105）的一端与输出级3dB耦合器（5）的下输出端口连接，第一光纤阵列（1）上的第六通道（106）的两端分别与第四开放臂（601）的另一端、第二光纤阵列（2）上的第四通道（204）的一端连接；第二光纤阵列（2）上的第二通道（202）的两端分别与第二光纤阵列（2）上的第六通道（206）的一端、第一级3dB耦合器（4）的上输出端口连接，第二光纤阵列（2）上的第三通道（203）的两端分别与第二光纤阵列（2）上的第五通道（205）的一端、第一级3dB耦合器（4）的下输出端口连接，第二光纤阵列（2）上的第一通道（201）的另一端与第一开放臂（301）的另一端连接，第二光纤阵列（2）上的第四通道（204）的另一端与第三开放臂（501）的另一端连接，第二光纤阵列（2）上的第五通道（205）的另一端与第二级3dB耦合器（6）的上输入端口连接，第二光纤阵列（2）上的第六通道（206）的另一端与第二级3dB耦合器（6）的下输入端口连接。