[发明专利]消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法有效
| 申请号： | 201310309858.1 | 申请日： | 2013-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN103399414A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 朱菁;张方;葛丹丹;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/42 | 分类号： | G02B27/42;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法，在衍射光学元件的前面或后面放置一块表面垂直于光束传输方向的散射片，所述的散射片输出的半孔径角与所述衍射光学元件输出的半孔径角相同。本发明可应用于光刻机照明系统中，实现对光刻机传统、二极、四极照明模式下衍射零级的消除。 | ||
| 搜索关键词： | 消除 衍射 光学 元件 光斑 方法 | ||
【主权项】：
一种消除衍射光学元件零级衍射光斑的方法，其特征在于，在衍射光学元件的前面或后面放置一块表面垂直于光束传输方向的散射片，所述的散射片输出的半孔径角与所述衍射光学元件输出的半孔径角相同。
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