[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明是有关于一种激光加工装置，能借由使射出源与载台相对移动以将激光一边沿既定的加工预定线扫描、一边照射于具有图案的基板的激光加工装置，具备用以在龟裂伸展加工时使从落射镜射往具有图案的基板的激光的光轴从铅直方向偏移的条件设定手段，对基板的一部分位置进行作为瞬时加工的龟裂伸展加工，根据从在使焦点对准于基板表面状态下拍摄瞬时加工执行位置而取得的第1摄影影像特定的从借由瞬时加工形成的加工痕伸展龟裂的终端位置坐标与从在使焦点对准于瞬时加工时激光的焦点位置状态下拍摄瞬时加工的执行位置而取得的第2摄影影像特定的瞬时加工的加工痕的位置坐标的差分值，在龟裂伸展加工时特定使落射镜旋转的方向。

主权项

一种激光加工装置，其具备：射出源，射出激光；载台，能固定具有图案的基板，该具有图案的基板是于单结晶基板上将多个单位元件图案二维地反复配置而成；以及落射镜，设于前述载台上方，使在水平方向行进的前述激光反射向前述载台；能借由使前述射出源与前述载台相对移动而将前述激光一边沿既定的加工预定线扫描、一边照射于前述具有图案的基板，其特征在于：能执行龟裂伸展加工，是以借由前述激光的各个单位脉冲光而形成于前述具有图案的基板的加工痕沿前述加工预定线位于离散处的方式照射，使龟裂从各个前述加工痕于前述具有图案的基板伸展；并进一步具备：摄影手段，能拍摄载置于前述载台的前述具有图案的基板；以及光轴偏移条件设定手段，是设定光轴偏移条件，该光轴偏移条件用以在前述龟裂伸展加工时使从前述落射镜射往载置于前述载台的前述具有图案的基板的前述激光的光轴从铅直方向偏移；前述落射镜，被设置成在以前述激光的前述光轴与铅直方向一致时该落射镜的姿势为基准姿势的情形时，往起立姿势方向与水平姿势方向旋转自如，该起立姿势方向是使该落射镜从前述基准姿势往接近起立姿势的方向旋转时的旋转方向，该水平姿势方向是使该落射镜从前述基准姿势往接近水平姿势的方向旋转时的旋转方向；借由使该落射镜旋转于前述起立姿势方向或前述水平姿势方向，而能使前述激光的前述光轴从铅直方向偏移；前述光轴偏移条件设定手段，在将前述具有图案的基板的一部分位置设定为前述光轴偏移条件设定用的前述龟裂伸展加工的执行位置，对前述执行位置进行前述光轴偏移条件设定用的前述龟裂伸展加工即瞬时加工后，使前述摄影手段在使焦点对准于前述具有图案的基板表面的状态下拍摄前述瞬时加工的前述执行位置而取得第1摄影影像，且在使焦点对准于已进行前述瞬时加工时前述激光的焦点位置的状态下拍摄前述瞬时加工的前述执行位置而取得第2摄影影像；根据从前述第1摄影影像特定的从借由前述瞬时加工形成的加工痕伸展的龟裂的终端位置坐标与从前述第2摄影影像特定的前述瞬时加工的加工痕的位置坐标的差分值，在前述龟裂伸展加工时特定出是否对前述落射镜赋予旋转及使前述落射镜旋转时的旋转方向。