[发明专利]基于元胞自动机的刻蚀表面演化模型压缩方法有效
| 申请号： | 201310303807.8 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103440673A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 宋亦旭;郑树琳;孙晓民 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G06T9/00 | 分类号： | G06T9/00;G06F9/455 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种面向元胞自动机的刻蚀表面演化模型的压缩方法，属于微电子加工中刻蚀过程模拟领域；该方法采用游程编码对表面演化模型进行压缩表示，首先对各部分的材料元胞进行属性定义，分别定义了单个元胞材料编码和整体材料编码；然后根据模型特征选择以模型的垂直列为压缩单元，根据游程编码制定相应的压缩规则；分别对模型的每个垂直列自上而下进行压缩，从而实现模型的压缩表示。本发明既大幅度地减少了模型表示所需的内存空间，又保证了仿真过程的计算效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 自动机 刻蚀 表面 演化 模型 压缩 方法 | ||
【主权项】：
一种面向元胞自动机的刻蚀表面演化模型的压缩方法，其特征在于：该方法采用游程编码对表面演化模型进行压缩表示，包括以下步骤：1）首先对各部分的材料元胞进行属性定义；2）根据模型特征选择以模型的垂直列为压缩单元，将模型划分成多个压缩单元；3）根据游程编码制定压缩规则，对所述压缩单元按自上而下顺序进行压缩，从而实现对整个模型的压缩。
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