[发明专利]一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法有效
| 申请号： | 201310284506.5 | 申请日： | 2013-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN103335615A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 李世杰;陈强;闫锋涛;范斌;万勇建;侯溪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法，包括在干涉仪输出光束的光轴上依次放置标准镜头、计算全息图和被测光学元件，将计算全息图固定在小五维调整架上，将被测光学元件固定在大五维调整架上；将计算全息图放置在标准镜头的焦点后面的设计位置处，来自干涉仪内部的光束经过标准镜头后入射到计算全息图上，使发散球面波前变为会聚球面波前，在被测光学元件的光轴方向位置处形成一个会聚焦点；当会聚球面波前照射到被测光学元件上后，将沿着对称光路位置返回，从而使会聚球面波前与干涉仪中的参考波前形成干涉条纹，通过对干涉条纹的监控，调节大五维调整架，将被测光学元件的在光轴方向位置控制在波长量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学 元件 光轴 方向 位置 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置，其特征在于：包括干涉仪、标准镜头、计算全息图、小五维调整架、被测光学元件和大五维调整架，在干涉仪输出光束的光轴上依次放置标准镜头、计算全息图和被测光学元件，将计算全息图固定在小五维调整架上，将被测光学元件固定在大五维调整架上；将计算全息图放置在标准镜头的焦点后面的设计位置处，来自干涉仪内部的光束经过标准镜头后入射到计算全息图上，使发散球面波前变为会聚球面波前，在被测光学元件的光轴方向位置处形成一个会聚焦点；当会聚球面波前照射到被测光学元件上后，将沿着对称光路位置返回，从而使会聚球面波前与干涉仪中的参考波前形成干涉条纹，通过对干涉条纹的监控，调节大五维调整架，将被测光学元件的在光轴方向位置控制在波长量级，所述设计位置是在光学设计阶段，计算全息图所在位置。
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