[发明专利]流量传感器无效
| 申请号： | 201310283112.8 | 申请日： | 2013-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN103542908A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 池信一 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01F15/18 | 分类号： | G01F15/18;G01F1/38 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千代田*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种具有耐腐蚀性的流量传感器。该流量传感器包括：流路主体（3），其设有气体或者液体等流体流经的流路（1）、以及从外表面与流路（1）连通的插入孔（2）；被插入流路主体（3）的所述插入孔（2）中的玻璃制的基座（11）；被配置在插入孔（2）和基座（11）之间的弹性垫圈（5）；和被配置在基座（11）的上表面上的芯片（20）。芯片（20）具有玻璃制的基体；流速检测部，其被配置在基体的上表面上，位于流路（1）的内部，且包含电阻元件；以及贯通基体，与电阻元件电连接的电极。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种流量传感器，其特征在于，包括：流路主体，其设有流路、以及从外表面与所述流路连通的插入孔；玻璃制的基座，其被插入所述流路主体的所述插入孔中；弹性垫圈，其被配置在所述插入孔和所述基座之间；玻璃制的基体，其被配置在所述基座的上表面上；流速检测部，其被配置在所述基体的上表面上，位于所述流路的内部，且包含电阻元件；以及电极，其贯通所述基体，与所述电阻元件电连接。
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