[发明专利]一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置有效

专利信息
申请号: 201310274806.5 申请日: 2013-07-02
公开(公告)号: CN103344195A 公开(公告)日: 2013-10-09
发明(设计)人: 魏中伟;景洪伟;匡龙 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24;G01B11/27
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 成金玉;顾炜
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置,由轮廓仪测头、轮廓仪测头微调机构、横臂、立柱、配重、横臂转台、工件转台和光学测头组成;光学测头固定于工件转台上绕轮廓仪测头进行旋转运动,获得轮廓仪测头的外轮廓数据,通过数据处理算法求出轮廓仪测头的中心位置信息,通过调整轮廓仪测头微调机构实现轮廓仪测头与工件转台的对心调整。本发明实现轮廓仪测头与工件转台的对心调整,为摆臂式轮廓仪在光学加工现场的在位测量提供实用化的解决方案。
搜索关键词: 一种 传感器 旋转 摆臂式 轮廓仪 对心 校准 装置
【主权项】:
一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置,其特征在于:由轮廓仪测头(1)、轮廓仪测头微调机构(2)、横臂(3)、立柱(4)、配重(5)、横臂转台(6)、工件转台(7)和光学测头(8)组成;轮廓仪测头(1)和轮廓仪测头微调机构(2)固定在横臂(3)末端,轮廓仪测头微调机构(2)可实现X,Y,Z,俯仰和偏摆5个自由度的微调,立柱(4)和横臂(3)用于连接轮廓仪测头(1)和横臂转台(6),配重(5)用于平衡轮廓仪测头(1)、轮廓仪测头微调机构(2)和横臂(3)以保证横臂转台(6)平稳的旋转,光学测头(8)固定于工件转台(7)上绕轮廓仪测头(1)进行旋转运动,获得轮廓仪测头(1)的外轮廓数据,通过数据处理算法求出轮廓仪测头(1)的中心位置信息,通过调整轮廓仪测头微调机构(2)实现轮廓仪测头(1)与工件转台(7)的对心调整。
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