[发明专利]一种静电电荷分析仪校准装置及静电电容器测量方法有效

专利信息
申请号: 201310263228.5 申请日: 2013-06-27
公开(公告)号: CN103472421A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 刘民;佟雷;袁亚飞;罗宇轩 申请(专利权)人: 北京东方计量测试研究所
主分类号: G01R35/00 分类号: G01R35/00;G01R27/26
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 安丽
地址: 100086 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开的静电电荷分析仪校准装置和静电电容测量方法,采用了电荷摆渡器通过机械旋转的接触电刷和摆渡电容器,将标准直流高压源的电荷传递到被校准仪器平板上,在平板电压校准时增加了安全性,即使人员接触裸露电极也不至于受伤,电荷摆渡器中电刷电路的两组串联电阻顺序接触方式,使充放电过程不产生静电火花,不对环境产生电磁干扰。本发明提出了衰减时间校准的两个技术方案,利用放电电容器接触平板电极模拟平板电极放电过程,控制平板电压穿越上下门限,给出放电电容器的计算方法,使用秒表或放电计时器作时间标准,在放电计时器中提供校准信号输出,便于时间参数的溯源。本发明通过标准电容器将静电电容溯源到数字电桥。
搜索关键词: 一种 静电 电荷 分析 校准 装置 电容器 测量方法
【主权项】:
一种静电电荷分析仪校准装置,其特征在于包括:直流高压源(1)、高压表(2)、电荷摆渡器(3)、衰减时间校准装置(4)和静电电容测量装置(5);所述直流高压源(1)、高压表(2)、电荷摆渡器(3)用于校准平板电压示值误差,电荷摆渡器(3)一侧连接直流高压源(1)的输出端和接地端,另一侧连接被校准仪器(6)的平板(7)和接地端,高压表(2)并联在直流高压源(1)的输出端和接地端,以直流高压源(1)或者高压表(2)作为标准,若直流高压电源(1)的最大允许误差小于被校准仪器的1/3,则不使用高压表(2),通过电荷摆渡器(3)对被校准仪器(6)的平板(7)充电,充电平衡后,以直流高压源(1)或者高压表(2)的读数Us为标准,与被校准仪器(6)的电压显示Ux相比较,计算示值误差:ΔU=Us‑Ux,通过直流高压源(1)或高压表(2)溯源到直流电压计量标准;所述衰减时间校准装置(4)用于校准衰减时间,衰减时间校准装置(4)连接被校准仪器(6)的平板(7)和接地端,用并联电容的方法控制被校准仪器的放电过程,以秒表(14)或放电计时器(20)为时间标准Ts,与被校准仪器(6)的衰减时间显示Tx相比较,计算衰减时间示值误差ΔT=Tx‑Ts,秒表(14)和放电计时器(20)溯源到时间频率计量标准;所述静电电容测量装置(5)用于测量被校准仪器(6)的平板电容,静电电容测量装置(5)连接被校准仪器(6)的平板(7)和接地端子,用一种静电电容测量方法,计算平板(7)的电容值,静电电容测量装置(5)的在高端H与低端L之间的电容值能够通过数字电桥溯源到电容计量标准。
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