[发明专利]基于CCD对位系统的曝光机

摘要

本发明公开了一种基于CCD对位系统的曝光机，包括机座，以及设于机座上的自动供收机构、贴合机构，CCD自动对位机构、曝光光源组以及控制装置。本发明通过控制装置的统一控制以及各部件的协调工作，实现全程自动化上下料以及曝光和贴合，连续循环式的输送以及出料方式极大地提高了生产效率，通过CCD自动对位系统的精密对位，取代人工对位方式，不但有效地提高效率，而且能够降低人为因素的影响，从而保证产品的质量，另外本发明采用独特的光源设定，能够稳定地实现紫外平行光的输出，从而保证产品曝光效果，增加产品质量。

主权项

基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，包括机座，所述机座内设置有散热部件，在其顶部设有用于安装工作部件的工作台,在工作台上设有外壳保护工作部件；所述工作部件包括如下：自动供收机构，通过设有的机械手实现自动上料，置料以及出料的功能；贴合机构，所述贴合机构包括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板以及设于曝光工作台上的驱动机构，经由驱动机构驱动下，使得曝光工作台夹持工作以及在各方向上移动位置的调整以及实现曝光与贴合的功能；CCD自动对位机构，实现工件的精准校准；曝光光源组，曝光光源组设于曝光室内，曝光光源组设有多组光镜组合实现紫光平行光源输出；控制装置，设定、整合自动供收机构、曝光光源组、CCD自动对位机构以及贴合机构的运作,以及监控各部件的工作流程和安全性问题，并反馈相应的指示信号。