[发明专利]光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法有效
| 申请号： | 201310227449.7 | 申请日： | 2013-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN103309175A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 张方;朱菁;杨宝喜;黄惠杰;黄立华;曾爱军;胡小邦;刘蕾;张佩;肖艳芬;陈明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现，不仅可以用于级联微球面透镜的对准，也可以用于级联微柱面透镜的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 照明 系统 级联 透镜 阵列 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置，特征在于其构成包括平行光光源（1）、光阑（2）、对准台（3）、聚光镜（4）和图像采集单元（5），上述部件的位置关系如下：沿平行光光源（1）发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑（2）、对准台（3）、聚光镜（4）和图像采集单元（5）,所述的对准台（3）供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台（3）具有垂直于所述的光轴平移的机构。
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