[发明专利]多层热电模块与其制造方法

摘要

一种多层热电模块与其制造方法。多层热电模块包含二热电元件组以及金属电极组，其中此二热电元件组对应至不同的工作温度范围。每一热电元件组包含热电单元、界面黏着层、扩散障碍层以及高熔点金属层。在多层热电模块的制造方法中，首先于热电单元上依序形成界面黏着层、扩散障碍层以及高熔点金属层，以获得前述的二热电元件组。接着，于金属电极组的二电极层上分别形成高熔点金属层。然后，进行固液扩散接合步骤，以利用低熔点金属层来与高熔点金属层反应，而产生介金属化合物层来将热电元件组接合至金属电极组，并完全消耗低熔点金属层。

主权项

一种多层热电模块，其特征在于，包含：一第一热电元件组，该第一热电元件组包含：一第一热电单元，对应至一第一工作温度范围；一第一界面黏着层，形成于该第一热电单元的表面上；一第一扩散障碍层，形成于该第一界面黏着层的表面上；以及一第一高熔点金属层，形成于该第一扩散障碍层的表面上，其中该第一高熔点金属层的熔点是高于该第一工作温度范围的上限；一第二热电元件组，该第二热电元件组包含：一第二热电单元，对应至一第二工作温度范围，其中该第二工作温度范围的上限是小于该第一工作温度范围的上限；一第二界面黏着层，形成于该第二热电单元的表面上；一第二扩散障碍层，形成于该第二界面黏着层的表面上；以及一第二高熔点金属层，形成于该第二扩散障碍层的表面上，其中该第二高熔点金属层的熔点是高于该第一工作温度范围的上限；一金属电极组；一第三高熔点金属层，设置于该金属电极组的一上表面上；一第四高熔点金属层，设置于该金属电极组的一下表面上；一第一介金属化合物层，形成于该第三高熔点金属层与该第一热电元件组的该第一高熔点金属层之间，以接合该第一热电元件组和该金属电极组；以及一第二介金属化合物层，形成于该第四高熔点金属层与该第二热电元件组的该第二高熔点金属层之间，以接合该第二热电元件组和该金属电极组。