[发明专利]一种一维位移精密测量方法

摘要

本发明属于测量方法类，具体是一种一维位移精密测量方法，其特征在于将发射电极绝缘基板安装在固定参照物上，将接收电极绝缘基板安装在移动物体上，保持发射电极与接收电极平行，发射电极与接收电极之间有一微小空气间隙，用一频率、幅值稳定的高频正弦电压源激励发射电极的奇数电极互联母线，用同样频率和幅值、相位相反的高频正弦电压源激励发射电极的偶数电极互联母线，将接收电极的两个互联母线分别连接至信号检测电路，通过判断接收电极两路输出高频电压信号的幅值以及相位的相对关系计算得出被测量物体相对固定参照物的位移、运动速度以及运动方向。本发明方案灵活，测量精度高，传感原件安装精度要求低。

主权项

一种一维位移精密测量方法，其特征在于：在一绝缘基板上制备发射电极，发射电极为一组宽度一致的矩形电极，相邻电极间距与矩形电极宽度一致，奇数电极与偶数电极分别通过两组相互独立的互联母线连接；在另一绝缘基板上制备接收电极，单个接收电极与单个发射电极宽度一致，接收电极由多对并联而成，每一对接收电极由两个紧密相邻的接收电极构成，它们之间保持电气绝缘，接收电极对与对之间的间距为两倍电极宽度，对与对之间通过两组相互独立的互联母线连接；进行位移测量时，将发射电极绝缘基板安装在固定参照物上，将接收电极绝缘基板安装在移动物体上，保持发射电极与接收电极平行，发射电极与接收电极之间有一微小空气间隙，用一频率、幅值稳定的高频正弦电压源激励发射电极的奇数电极互联母线，用同样频率和幅值、相位相反的高频正弦电压源激励发射电极的偶数电极互联母线，将接收电极的两个互联母线分别连接至信号检测电路，通过判断接收电极两路输出高频电压信号的幅值以及相位的相对关系计算得出被测量物体相对固定参照物的位移、运动速度以及运动方向。