[发明专利]一种CVD/CVI炉尾气处理装置有效
| 申请号： | 201310203825.9 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN103721559A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈照峰;汪洋 | 申请（专利权）人： | 太仓派欧技术咨询服务有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/82 | 分类号： | B01D53/82;B01D53/28;B01D53/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CVD/CVI炉尾气处理装置，由封装壳体、不锈钢钢管和尾气吸收剂组成，封装壳体上下端均有可以打开的密封缸盖，其内部有不锈钢夹层，不锈钢钢管镶嵌在不锈钢夹层上，并在其底部放置有一层或多层石墨碳毡，不锈钢钢管内部装满氯化氢气体吸收剂，水汽吸收剂均匀铺洒于封装壳体的底部。该发明提供了一种具有性能稳定，安全可靠、操作简单、维修方便、成本低廉等优点的尾气处理装置，更加适用于市场的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd cvi 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种CVD/CVI炉尾气处理装置，由封装壳体、不锈钢钢管和尾气吸收剂组成，其特征在于所述封装壳体底部的一侧设置有尾气导入口，封装壳体顶部的另一侧设置有尾气导出口。
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