[发明专利]一种传输装置及等离子体加工设备无效
| 申请号： | 201310196971.3 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN104176491A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传输装置及等离子体加工设备，其用于传输被加工工件，且包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中，直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动；抓持部件位于固定部件上，并且与固定部件可相对滑动地连接；抓持部件用于抓取被加工工件；间接传动机构设置于固定部件上，其用于在直线驱动单元驱动固定部件作直线往复运动时，同步带动抓持部件相对于固定部件滑动，并且抓持部件相对于固定部件滑动的方向与固定部件移动的方向相同。本发明提供的传输装置，其不仅结构简单、易于控制且制造成本较低，而且传输距离较大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传输 装置 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种传输装置，用于传输被加工工件，其特征在于，所述传输装置包括直线驱动单元、固定部件、抓持部件和间接传动机构，其中，所述直线驱动单元用于驱动位于其上的固定部件作直线往复运动；所述抓持部件，位于所述固定部件上，并且与所述固定部件可相对滑动地连接；所述抓持部件用于抓取被加工工件；所述间接传动机构设置于所述固定部件上，其用于在所述直线驱动单元驱动所述固定部件作直线往复运动时，同步带动所述抓持部件相对于所述固定部件滑动，并且所述抓持部件相对于所述固定部件滑动的方向与所述固定部件移动的方向相同。
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