[发明专利]一种用于流体检测的微流体器件及制备该微流体器件的方法有效
| 申请号： | 201310181103.8 | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN104162458B | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 杜学东;娄达 | 申请（专利权）人： | 昌微系统科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所11352 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 200025 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于流体检测的微流体器件，该微流体器件包括基材及由上至下依次沉积在该基材上的第三沉淀材料及第四沉淀材料，且该微流体器件上设置有一个或多个检测单元，该微流体器件的一面具有一个或多个凹槽，且在该凹槽内设置有一个或多个贯穿该微流体器件的微流通道。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 流体 检测 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于流体检测的微流体器件，所述微流体器件包括基材及由上至下依次沉积在所述基材上的第三沉淀材料及第四沉淀材料，且所述微流体器件上设置有一个或多个检测单元，其特征在于，所述微流体器件的一面具有一个或多个凹槽，且在所述凹槽内设置有一个或多个贯穿所述微流体器件的微流通道，其中，所述微流通道通过穿通刻蚀工艺制备形成，所述穿通刻蚀工艺为先进行干法刻蚀再进行超声波或兆声波增强湿法刻蚀或先进行超声波或兆声波增强湿法刻蚀再干法刻蚀。
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