[发明专利]一种基板加工装置有效
| 申请号： | 201310173579.7 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103232157A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 贾胡平 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板加工装置。其中，所述基板加工装置包括用于夹持基板的夹持组件及用于载置所述基板的支承组件，所述夹持组件与所述支承组件均具有驱动源。根据本发明的基板加工装置，所述夹持组件与所述支承组件均具有驱动源，由此，可以通过所述夹持组件与所述支承组件各自的驱动源，驱动所述夹持组件与所述支承组件同步运动，使得基板相对于支承组件静止，在加工过程中无需每切割一刀对位一次，能够节省加工时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种基板加工装置，其特征在于，所述基板加工装置包括用于夹持基板的夹持组件及用于载置所述基板的支承组件，所述夹持组件与所述支承组件均具有驱动源。
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