[发明专利]基板检测装置

摘要

提供一种是简单的结构并且容易设置的基板检测装置。在由输送装置（1）输送的收存容器（C）的移动范围的端部设定检查部位（P），将投射检测波并且接收从对象物反射的检测波、检测到对象物的距离的测距仪（12）配设在比移动范围（K）的端部靠输送方向的外侧，并且设置为，朝向位于检查部位（P）的收存容器（C）的开口部（8）投射的检测波在基板收存区域中沿与基板（W）的面方向交叉的方向行进，设置存否判别部，所述存否判别部在测距仪（12）的检测值是预先设定的设定范围内的值的情况下，判别为在收存容器（C）内存在基板（W）。

主权项

一种基板检测装置，检测收存容器内的基板，所述收存容器具备以层叠状态收存多片基板的基板收存区域，所述基板检测装置具备检测部，所述检测部的朝向形成在上述收存容器上的开口部投射检测波时的检测状态根据基板的存否而变化，其特征在于，所述基板检测装置具备：输送装置，以上述基板收存区域的基板层叠方向具有输送方向的成分的输送姿势，将上述收存容器在水平方向上载置输送；和存否判别部，判别在上述收存容器内是否存在基板；这里，上述检测部使用测距仪构成，所述测距仪接收从对象物反射的上述检测波，检测到对象物的距离；在由上述输送装置输送的上述收存容器的移动范围的端部上设定检查部位；上述测距仪配设在比上述移动范围的上述端部靠上述输送方向的外侧，并且构成为，朝向位于上述检查部位的上述收存容器的上述开口部投射上述检测波，以使上述检测波在上述基板收存区域中向与基板的面方向交叉的方向行进；并且，上述测距仪被设置为，在上述收存容器中收存有基板的情况下，向该被收存的基板投射上述检测波，在上述收存容器中没有收存基板的情况下，上述检测波被投射到上述收存容器的内面上；在上述测距仪的检测值是作为到下述基板的距离的范围而预先设定的设定范围内的值的情况下，上述存否判别部判别为在上述收存容器内存在基板，所述基板收存在位于上述检查部位的上述收存容器中。