[发明专利]多功能水性环保可循环利用晶硅精密切割液有效

专利信息
申请号: 201310143231.3 申请日: 2013-04-23
公开(公告)号: CN103242944A 公开(公告)日: 2013-08-14
发明(设计)人: 蔡建跃 申请(专利权)人: 上海晔宗光伏科技有限公司
主分类号: C10M173/02 分类号: C10M173/02;C10M169/04;C10N30/06;C10N30/04
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 郭国中
地址: 201104 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种多功能水性环保可循环利用晶硅精密切割液。其包含式(I)所示结构的聚醚链烷醇胺梳状聚合物A、式(II)所示结构的环氧乙烷和环氧丙烷反向共聚聚醚B和式(III)所示结构的脂肪族环氧乙烷和环氧丙烷衍生物低泡表面活性剂C作为必需成分;与现有技术相比,本发明的切割液具有适用面广,润滑性能优异,分散效果好,低温中不结冰及可循环使用且起泡趋势低等特点,同时还具有较好的耐腐蚀性和对水与硅反应有良好的抑制作用;可应用于半导体单晶硅、多晶硅、蓝宝石、陶瓷、硬脆性材料等开方、精密切片加工工艺中。
搜索关键词: 多功能 水性 环保 循环 利用 精密 切割
【主权项】:
1.一种多功能水性环保可循环利用晶硅精密切割液,其特征在于,包含式(I)所示结构的聚醚链烷醇胺梳状聚合物A、式(II)所示结构的环氧乙烷和环氧丙烷反向共聚聚醚B和式(III)所示结构的脂肪族环氧乙烷和环氧丙烷衍生物低泡表面活性剂C作为必需成分;其中,R为碳数为1~4的烷基,x为3~30中的任一实数,y为1~60中的任一实数;其中,x+z满足环氧丙烷的分子量占总分子量的百分比为10%~90%,y满足环氧乙烷的分子量占总分子量的百分比为10%~90%;其中,R为碳数为6~18的烷基,R’为碳数为1~3的烷基,x为3~20中的任一实数。
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