[发明专利]控制印在衬底上的图案的印刷的方法有效
| 申请号： | 201310130296.4 | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103481690B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | E·M·博斯科罗;T·瓦塞斯;A·罗马内罗 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | B41M1/18 | 分类号： | B41M1/18;B41M1/26;B41F17/00;B41F33/16 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 陆嘉,徐伟 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种控制印在衬底(例如，形成光生伏打电池或生带类型电路的晶圆)上的图案的印刷的方法和装置。在一个实施方式中，一种控制印在衬底上的图案的印刷的方法包括以下步骤在衬底的表面上印刷多个印痕来限定图案；通过光学捕获验证衬底上的印痕的印刷。所述验证步骤包含以下步骤通过检查单元在印刷之前进行获取衬底或参考衬底的表面的第一参考光学图像；处理第一参考光学图像，其中，处理单元或控制器确定第一参考光学图像的参考几何坐标并存储所述几何坐标；在印刷之后，通过检查单元获取衬底的表面的第二图像，印痕印刷在所述表面上；通过处理单元或控制器处理第二图像，所述处理单元或控制器将第一参考光学图像的参考几何坐标关联到第二图像；处理单元或控制器逐点减去第一参考光学图像与第二图像之间的着色来获得第三图像，第一参考光学图像与第二图像之间的差异显示在第三图像中。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 衬底 图案 印刷 方法 | ||
【主权项】：
一种控制印在衬底(250)上的图案的印刷的方法，所述衬底(250)是形成光生伏打电池或生带类型电路的晶圆，所述方法包含以下步骤：在所述衬底(250)的表面(251)上印刷多个印痕(302)来限定所述图案；和通过光学捕获手段，验证所述衬底上的所述印痕的所述印刷，其中所述验证步骤包含以下步骤：通过检查单元(200)的手段，在印刷之前进行获取所述衬底或参考衬底的所述表面(251)的第一参考光学图像(301、1301)；处理所述第一参考光学图像(301、1301)，其中，处理单元或控制器(101)确定所述第一参考光学图像的参考几何坐标(X1、Y1；X2、Y2；X3、Y3；X4、Y4)并存储所述几何坐标；在所述印刷之后，通过所述检查单元的手段，获取所述衬底的所述表面的第二图像(303、1303)，所述印痕(302)印刷在所述表面上；通过所述处理单元或控制器(101)的手段，处理所述第二图像(303、1303)，所述处理单元或控制器(101)将所述第一参考光学图像(301、1301)的所述参考几何坐标关联到所述第二图像(303、1303)；所述处理单元或控制器(101)逐点减去所述第一参考光学图像(301、1301)与所述第二图像(303、1303)之间的着色来获得第三图像(307)，所述第一参考光学图像与所述第二图像之间的差异显示在所述第三图像(307)中。
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