[发明专利]基于信号频率的二维自参考干涉对准系统及对准方法有效
| 申请号： | 201310130173.0 | 申请日： | 2013-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN104111594A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李运锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于信号频率的二维自参考干涉对准系统，包括：激光光源模块，用于提供所需的照明光束；光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上并进行扫描，形成光学信号；电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；软件模块，用于对光强信号进行处理，进一步获得对准信号；其特征在于，所述对准标记为180度旋转对称结构的二维光栅标记，在所述对准标记的X方向上各级对准信号的对准频率和Y方向上对应的各级对准信号的对准频率不同，根据所述对准频率，可以从中提取出X向对准信号和Y向对准信号，从而实现两个方向的同时对准。本发明在现有技术基础上进行了改进，可以同时实现X和Y向的二维对准，从而提高对准产率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 信号 频率 二维 参考 干涉 对准 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于信号频率的二维自参考干涉对准系统，包括：激光光源模块，用于提供所需的照明光束；光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上并进行扫描，形成光学信号；电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；软件模块，用于对光强信号进行处理，进一步获得对准信号；其特征在于，所述对准标记为180度旋转对称结构的二维光栅标记，在所述对准标记的X方向上各级对准信号的对准频率和Y方向上对应的各级对准信号的对准频率不同，根据所述对准频率，可以从中提取出X向对准信号和Y向对准信号，从而实现两个方向的同时对准。
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