[发明专利]光干涉气体检测光路系统及气压平衡装置无效
申请号: | 201310122914.0 | 申请日: | 2013-04-10 |
公开(公告)号: | CN103196834A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 陆飞;夏飞;李鹏君;秦军政 | 申请(专利权)人: | 重庆一心仪器仪表有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/45 |
代理公司: | 重庆市恒信知识产权代理有限公司 50102 | 代理人: | 刘小红 |
地址: | 401334 重*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明提供一种新型光干涉气体检测光路系统及气压平衡装置。利用雅敏光干涉原理设计,通过光源,图像传感器及平面分光镜等若干光学元件将一束光经过平面分光镜的作用分成三束光线,形成两组光干涉条纹,对两组条纹进行处理获得测量结果。新的气压平衡装置为密闭式结构可以满足在使用环境中长时间工作的要求。本发明的目的在于提供一种精确度高、制造简单、压力均衡的光干涉气体检测光路系统及气压平衡装置。 | ||
搜索关键词: | 干涉 体检 测光 系统 气压 平衡 装置 | ||
【主权项】:
一种光干涉气体检测光路系统及气压平衡装置,包括光源(4)、平面分光镜(6)、气室(8)、折光直角三棱镜(11)、反射直角三棱镜(5)、图像传感器(1)和若干光学元件组成的光干涉光路系统,其特征在于:还包括闭合的压力平衡装置(7),其中压力平衡装置(7)与所述气室(8)相连通;在所述光源(4)的光路上、呈45°安装的平面分光镜(6)将光源(4)发射且穿过光缝(3)的光束分成相互平行的光束a、光束b和光束c。
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