[发明专利]氧化物微纳米结构有序多孔阵列的氧等离子体辐照制备方法

摘要

本发明公开了氧化物微纳米结构有序多孔阵列的氧等离子体辐照制备方法。包括二维胶体晶体模板法和等离子体辐照法，具体步骤为用气/液界面组装法合成单层的二维胶体晶体模板，二维胶体晶体模板由单种直径为200nm‑2000nm微球构成，特别是将模板转移并漂浮至0.02‑0.2mol/L的前驱体溶液表面，将浸有溶液的模板捞起置于80‑120ºC烘箱中加热15‑30分钟，随后在等离子体清洗机中氧气气氛中辐照10‑60min，等离子体功率为5.8‑18W。此方法没有使用任何贵重的专用仪器和表面修饰剂，制备工艺简单快速、成本低、效率高、安全环保，可以广泛用于光子晶体、微/纳米加工、催化、表面增强拉曼散射、传感等领域。

主权项

氧化物微纳米结构有序多孔阵列的氧等离子体辐照制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将普通玻璃依次在丙酮、乙醇、去离子水中分别超声清洗30‑40min，并使用N2气吹干，并使用臭氧紫外清洗20‑30分钟，得到超亲水的玻璃表面；（2）将清洗处理过的普通玻璃放置于水平的实验工作台上，取去离子水均匀滴在玻璃上以形成一层厚度0.2‑0.3mm水膜；将质量百分比为2‑3%的聚苯乙烯微球悬浮液分散同体积的乙醇中，分散均匀后得到混合液；将混合液沿着覆有去离子水膜的玻璃边角处缓慢注入，直至在气/液界面上PS微球自组装完成；控制环境温度至30‑40℃辅以微弱气流进行干燥，得到在玻璃衬底上的单层二维胶体晶体模板；（3）将上述制备好的胶体晶体模板转移并漂浮至的金属氧化物前驱体溶液表面，保持模板漂浮在溶液上的时间为2‑10分钟；再将模板用衬底捞起后平放5‑6分钟，然后置于80‑120 ℃烘箱中加热15‑30分钟；随后将烘干的样品置于在等离子体清洗机中高纯氧气气氛下辐照10‑60分钟获得单层无裂纹有序孔阵列薄膜；（4）重复步骤（2）的次数0次以上，获得两层无裂纹有序孔阵列薄膜。