[发明专利]铁电薄膜的制造方法无效
| 申请号： | 201310085266.6 | 申请日： | 2013-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103357562A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 饭田慎太郎;樱井 英章 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | B05D5/12 | 分类号： | B05D5/12 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种铁电薄膜的制造方法，其材料利用效率非常好，且具有所希望的膜组织，且电性优异。该铁电薄膜的制造方法，从毛细管(14)的吐出口(14a)朝向具有下部电极(20a)的基板(20)的下部电极(20a)静电喷涂铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液(21)而在下部电极(20a)上涂布溶胶-凝胶液(21)来形成涂膜，对该涂膜进行干燥和临时烧结之后进行烧成来结晶化，从而在下部电极(20a)上制造铁电薄膜，其中，以上述涂膜的干燥和临时烧结之后的折射率成为2以上的方式设定上述毛细管(14)的吐出口(14a)与上述下部电极(20a)之间的距离及静电喷涂时的施加电压，并且以一次喷涂来涂布溶胶-凝胶液(21)，以临时烧结之后进行烧成来结晶化时的膜厚成为150nm以下范围的方式设定一次喷涂中的溶胶-凝胶液(21)的液量。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种铁电薄膜的制造方法，从毛细管的吐出口朝向具有下部电极的基板的所述下部电极静电喷涂铁电薄膜形成用溶胶‑凝胶液而在所述下部电极上涂布所述溶胶‑凝胶液来形成涂膜，对所述涂膜进行干燥和临时烧结之后进行烧成来结晶化，从而在所述下部电极上制造铁电薄膜，其特征在于，以所述涂膜的干燥和临时烧结之后的折射率成为2以上的方式设定所述毛细管的吐出口与所述下部电极之间的距离及所述静电喷涂时的施加电压，并且以一次所述喷涂来涂布所述溶胶‑凝胶液，以临时烧结之后进行烧成来结晶化时的膜厚成为150nm以下范围的方式设定所述一次喷涂中的溶胶‑凝胶液的液量。
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