[发明专利]产生方法和信息处理设备

摘要

本发明涉及一种产生方法和信息处理设备。具体地，提供一种产生用于要被用于曝光设备的掩模图案的数据的产生方法和信息处理设备，所述曝光设备包括用于将包括主图案和辅助图案的掩模图案投射到基板上的投射光学系统，所述产生方法包括：设置产生条件的步骤，在所述产生条件下产生辅助图案；和确定描述指示计算的掩模图案的图像的质量的指数的估计函数的值是否落入容许范围之内的步骤，其中，如果确定估计函数的值落在容许范围之外，则改变产生条件以设置新的产生条件。

主权项

一种产生用于要被用于曝光设备的掩模图案的数据的产生方法，所述曝光设备包括用于将包括主图案和辅助图案的掩模图案投射到基板上的投射光学系统，所述产生方法包括：第一步骤，设置产生条件，在所述产生条件下产生辅助图案；第二步骤，计算要由投射光学系统使用在曝光设备中设置的曝光条件以及包括设置的主图案和根据设置的产生条件产生的辅助图案的掩模图案在基板上形成的掩模图案的图像；和第三步骤，确定描述指示在第二步骤中计算的掩模图案的图像的质量的指数的估计函数的值是否落入容许范围之内，其中，如果确定估计函数的值落入容许范围之内，则产生包括设置的主图案和根据在第一步骤中设置的产生条件产生的辅助图案的数据作为用于该掩模图案的数据，以及如果确定估计函数的值落在容许范围之外，则改变产生条件以在第一步骤中设置新的产生条件，并且使用新的产生条件执行第二步骤和第三步骤。