[发明专利]一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统有效
| 申请号： | 201310065831.2 | 申请日： | 2013-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN103176280A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 孙广尉;孙红胜;王加朋;张玉国;任小婉;魏建强;宋春晖 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30;G02B27/09;G02B27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学系统设计技术领域，具体的讲是一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其中当进行探测器真空紫外相对光谱响应率校准时，所述复数个准直透镜中的特定准直透镜将110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源变为平行光发送给所述探测器；当进行光源真空紫外光谱辐照度校准时，所述复数个会聚透镜中的特定会聚透镜将经过漫射器的110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源会聚输出至标准探测器，其中经过特定漫射器对特定波段的紫外光源进行均光。通过本发明实施例使用组合式设计方法，使光学系统的7片透镜材料、波段范围和性能参数得到合理匹配，降低了成本，简化了系统结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 紫外 光谱 参数 校准 光学系统 | ||
【主权项】：
一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其特征在于，包括壳体，复数个准直透镜或复数个会聚透镜；复数个准直透镜或所述复数个会聚透镜安装于所述壳体中，当进行探测器真空紫外相对光谱响应率校准时，所述复数个准直透镜中的特定准直透镜将110nm‑400nm波段范围内的特定波段的紫外光源变为平行光发送给所述探测器；当进行光源真空紫外光谱辐照度校准时，所述复数个会聚透镜中的特定会聚透镜将经过漫射器的110nm‑400nm波段范围内的特定波段的紫外光源会聚输出至标准探测器，其中经过特定漫射器对特定波段的紫外光源进行均光。
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