[发明专利]一种工业用激光器光束参数测量装置

摘要

本发明提供了一种工业用激光器光束参数测量装置，其包括第一分光镜(1)、第二分光镜(2)、第一光电探测器(3)、第一处理电路(4)、光强调节单元(5)、聚焦透镜(6)、第三分光镜(7)、第二光电探测器(8)、第二处理电路(9)、图像探测采集单元(10)、电控运动台(11)、调节装置(12)、运动控制卡(13)和上位机(14)；采用电光式或磁光式光强度调节器实现被测光强度的调节，易于实现大功率激光器光强的连续调节；采用两个光电探测器探测被测激光光斑作为测试前光路调整的依据；采用手动调节调节装置(12)来满足工业激光器光束参数在线测量要求。该测量装置使用方便快捷，尤其适用于生产线在线测量的要求。

主权项

一种工业用激光器光束参数测量装置，其特征在于包括第一分光镜(1)、第二分光镜(2)、第一光电探测器(3)、第一处理电路(4)、光强调节单元(5)、聚焦透镜(6)、第三分光镜(7)、第二光电探测器(8)、第二处理电路(9)、图像探测采集单元(10)、电控运动台(11)、调节装置(12)、运动控制卡(13)和上位机(14)；被测激光束入射到第一分光镜(1)上，一部分透过第一分光镜(1)，另一部分光束被第一分光镜(1)反射依次穿过第二分光镜(2)、光强调节单元(5)、聚焦透镜(6)和第三分光镜(7)，最后入射到图像探测采集单元(10)的探测面上，图像探测采集单元(10)将其采集到的光斑信息发送给上位机(14)处理和显示，第二分光镜(2)和第三分光镜(7)反射的光分别被第一光电探测器(3)和第二光电探测器(8)所接收，第一处理电路(4)和第二处理电路(9)分别对来自第一光电探测器(3)和第二光电探测器(8)获得电信号进行处理并将结果发送给上位机(14)进行显示；一维电控运动台(11)在运动控制卡(13)的控制下带动聚焦透镜(6)沿光轴做运动，从而实现轴向不同位置光斑的采集和处理；所述的第一分光镜(1)、第二分光镜(2)和第三分光镜(7)为石英材质的平面镜片，其表面镀制对被测试激光波长的分光膜；所述的第一光电探测器(3)和第二光电探测器(8)是四象限探测器或二维光电位置传感器；所述的第一处理电路(4)和第二处理电路(9)为光电采集和处理电路；所述的光强调节单元(5)是电光式光强度调节器或磁光式光强度调节器；所述的聚焦透镜(6)为石英材质的平凸透镜；所述的图像探测采集单元(10)优选CCD相机图像采集器或CMOS相机图像采集器；所述的电控运动台(11)为丝杠传输的一维电控运动台；所述的调节装置(12)为由涡轮蜗杆副构成带有刻度的手动二维转台；所述的本测量装置测量光路与被测激光器光路同轴的调节是通过调节装置(12)来实现；所述的上位机(14)为工控计算机，是本测量装置的控制中心；所述的本测量装置测量前光路调节是采用两个光电探测器来跟踪被测激光束的光斑中心位置作为调整依据。