[发明专利]老化测试设备有效
申请号: | 201310061443.7 | 申请日: | 2013-02-27 |
公开(公告)号: | CN103293456A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 李义元;崔永培 | 申请(专利权)人: | 韩商联测股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人: | 郑青松 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及老化测试设备。根据本发明,将公开如下技术,即,测试板将至少属于同一列的插座布置在一个传送线路组上,并采用飞跃式结构,以使测试信号顺序地施加到半导体元件,测试基板产生用于准确地抽样从半导体元件反馈的结果信号的闪控信号,从而在高速处理时,也能够实现准确的数据抽样。 | ||
搜索关键词: | 老化 测试 设备 | ||
【主权项】:
一种老化测试设备,其特征在于,包括:至少一个测试板,具有行列形态的能够装载半导体元件的插座,并具有用于向插座施加测试信号的传送线路组;板收容腔室,用于收容所述至少一个测试板;至少一个测试基板,与收容于所述板收容腔室的至少一个测试板电连接,产生用于测试装载于所述至少一个测试板的半导体元件的测试信号;以及基板收容腔室,用于收容所述至少一个测试基板,所述至少一个测试板的电路中的传送线路组中的每一个上,所述插座中的至少两个插座被布置在一起,且具有飞跃式结构,所述测试基板包括:测试单元,选择需要测试的半导体元件而产生测试信号,并读取从开始工作的半导体元件反馈的结果信号;以及闪控信号提供单元,向所述测试单元提供闪控信号,以使所述测试单元从结果信号能够抽样准确的数据。
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