[发明专利]对洁净材料表面局部污染物进行清理的装置及方法

摘要

本发明公开了一种对洁净材料表面局部污染物进行清理的装置和方法。该装置包括真空腔体（5），放置于真空腔体（5）内的洁净材料（9）、与洁净材料（9）相距一定距离的移动平台（4）；移动平台（4）与洁净材料（9）相对的一面设有用于传输激光的光纤探头（1）、用于材料表面观察的光学显微探头（2）、气体吹扫头（3）；放置在真空腔体（5）外部的真空机组（6）和激光光源（7），其中，真空机组（6）用于对真空腔体（5）抽真空，激光光源（7）通过光纤（8）传输到光纤探头（1）。具备快速进行洁净材料表面局部污染物的发现、清除，系统结构简单易操作。

主权项

一种对洁净材料表面局部污染物进行清理的装置，其特征在于：该装置包括真空腔体（5），放置于真空腔体（5）内的洁净材料（9）、与洁净材料（9）相距一定距离的移动平台（4）；移动平台（4）与洁净材料（9）相对的一面设有用于传输激光的光纤探头（1）、用于材料表面观察的光学显微探头（2）、气体吹扫头（3）；放置在真空腔体（5）外部的真空机组（6）和激光光源（7），其中，真空机组（6）用于对真空腔体（5）抽真空，激光光源（7）发出的激光通过光纤（8）传输到光纤探头（1）；移动平台（4）用于在洁净材料（9）表面移动光纤探头（1）、光学显微探头（2）、气体吹扫头（3）以发现附在洁净材料（9）上的待清除污染物（10），并使光纤探头（1）对准污染物(10)，启动激光光源（7）使激光通过光纤（8）传输到光纤探头（1）使污染物（10）在激光作用下挥发、蒸发；吹扫头（3）中通入吹扫气体（11），对激光作用区域进行吹扫，使蒸发、挥发的污染物吹离污染区域，并在气流作用下被真空机组抽出真空腔体。