[发明专利]一种超衍射纳米光学探针

摘要

本发明是一种超衍射纳米光学探针，在锥形介质芯的外表面镀一层金属外包层，并在锥形针尖的表面沉积多层膜，该多层膜由交替排列的介质膜和金属膜层组成，当光垂直入射到介质膜的表面时，在金属膜与介质膜的界面激发表面等离极化激元，表面等离子体激元沿界面传播到锥形针尖时起到局域增强的效果，并进一步通过锥形针尖表面多层膜的的光学各向异性，对局域增强的光斑进行修饰，压缩和透射增强。依据相同的原理，本发明还包含一种表面沉积该多层膜材料的蝴蝶结结构的设计，其特征在于在其下表面沉积上述多层膜材料。本发明中还可以通过调整多层膜中金属介质的厚度比来改变透射的光强，并且结构较简单，可以很方便的应用到光刻中，提高光刻分辨力。

主权项

一种超衍射纳米光学探针，其特征在于：所述光学探针包括锥形介质芯、金属外包层、介质膜和金属膜层，所述锥形介质芯顶部为平台状的锥形针尖；在锥形介质芯的外表面镀一层金属外包层，并在锥形针尖的表面沉积成多层膜，该多层膜由交替排列的介质膜和金属膜层组成，当光垂直入射到介质膜的表面时，在金属膜层与介质膜的界面激发表面等离极化激元，表面等离子体激元沿界面传播到锥形针尖时，对光斑起到局域增强，并进一步通过锥形针尖的表面沉积多层膜的光学各向异性，对局域增强的光斑进行修饰、压缩，同时对光斑起到透射增强的作用；将超衍射纳米光学探针接近旋涂光刻胶记录介质的样品表面，从而实现光刻的目的。