[发明专利]对光学元件表面污染物进行清理的装置和方法有效
| 申请号： | 201310038460.9 | 申请日： | 2013-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN103100539A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 张晓兵;肖梅;陈振乾;夏柱红;康学军;祁争健 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B5/02;B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对光学原件表面污染物进行清理的装置及方法，该装置包括真空腔体（5）、设于真空腔体（5）内部的闪光灯光源（1）、气体吹扫头（3）、光学元件（4）、设于真空腔体（5）外部的闪光灯电源（2）、真空机组（6）；闪光灯电源（2）通过穿过真空腔体（5）的电极引线（7）与闪光灯光源（1）相连并为其提供工作电压；闪光灯光源（1）放在需要进行污染物清理的光学元件（4）的内部表面附近，使其工作时发出的光线（10）作用到光学元件（4）需要清理的表面。本发明具备快速进行光学元件表面、真空腔体内表面、材料表面吸附物、污染物的清除，系统结构简单易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 表面 污染物 进行 清理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种对光学原件表面污染物进行清理的装置，其特征在于：该装置包括真空腔体（5）、设于真空腔体（5）内部的闪光灯光源（1）、气体吹扫头（3）、光学元件（4）、设于真空腔体（5）外部的闪光灯电源（2）、真空机组（6）；闪光灯电源（2）通过穿过真空腔体（5）的电极引线（7）与闪光灯光源（1）相连并为其提供工作电压；闪光灯光源（1）放在需要进行污染物清理的光学元件（4）的内部表面附近，使其工作时发出的光线（10）作用到光学元件（4）需要清理的表面；闪光灯光源（1）工作时，气体吹扫头（3）用于喷射气体（8），并该喷射气体（8）作用在光学元件（4）和需要清理的真空腔体（5）内表面上，在闪光灯光源（1）作用下光学元件（4）表面和真空腔体（5）内表面释放的污染物（9）发生反应或被气流带走。
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