[发明专利]一种特种气体发生装置

摘要

本发明公开了一种特种气体发生装置，两路输入气体分别经进气管路流经质量流量计后，再经第一三通阀汇合成混合气体，该混合气体经第二三通阀后被分为浓度相同的两支路气体，两支路气体中的一路气体经流量计后，由出气管路输出一定浓度和流量的待配置气体；两支路气体中的另一路气体经用以调节出气管路输出气体流量的调节阀后，由排空管路排出。实施本发明的特种气体发生装置，能根据试验需求、利用已知浓度的少量几种标准气体配置各种浓度的氟化氢气体，氟化氢和六氟化硫的混合气体，甚至氟化氢、六氟化硫及其分解物；重量轻，易于携带，进一步降低人工及运输成本。

主权项

一种特种气体发生装置，其特征在于，所述特种气体发生装置包括：用以供给稀释气体或组分气体的第一进气管路和第二进气管路；分别与所述第一进气管路和所述第二进气管路相连接的第一质量流量计和第二质量流量计；第一三通阀，其具有三个阀口，其中两个阀口通过管路分别连接在所述第一质量流量计和所述第二质量流量计上，另一阀口通过管路连接第二三通阀的一个阀口上，所述第二三通阀还具有另两个阀口； 分别通过管路连接在所述第二三通阀的所述另两个阀口上的调节阀和流量计；以及连接在所述调节阀上的排空管路和连接在所述流量计上的出气管路；其中：两路输入气体分别经所述第一进气管路和所述第二进气管路流经所述第一质量流量计和所述第二质量流量计后，再经所述第一三通阀汇合成混合气体，所述混合气体经所述第二三通阀后被分为浓度相同的两支路气体。