[发明专利]大气辉光放电低温等离子体镀膜装置无效
申请号: | 201310033587.1 | 申请日: | 2013-01-29 |
公开(公告)号: | CN103074569A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 向勇;闫宗楷;常小幻 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | C23C4/12 | 分类号: | C23C4/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610017 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种大气辉光放电低温等离子体镀膜装置,属于材料制备领域,该装置可降低设备复杂程度、易操作,而且可节约整体镀膜工艺的成本,其结构包括放电管,所述的放电管上端设有管塞,管塞上设有通孔;所述的管塞的底部通过盲孔插置有棒状电极;所述的放电管的下端设有中空倒置截头的圆锥体,在圆锥体的底部水平设有环状电极,在环状电极的上方设有环状电介质;所述的圆锥体的侧壁上还设有粉体输送口;所述的环状电极通过导线与电源一端相连接,同时接地,棒状电极上端通过导线穿过管塞与电源另一端相连接。它结构简单,操作方便,降低了镀膜成本,扩大了使用范围,因而具有很好的推广利用价值。 | ||
搜索关键词: | 大气 辉光 放电 低温 等离子体 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
一种大气辉光放电低温等离子体镀膜装置,其特征在于:包括放电管,所述的放电管上端设有管塞,管塞上设有通孔;所述的管塞的底部通过盲孔插置有棒状电极;所述的放电管的下端设有中空倒置截头的圆锥体,在圆锥体的底部水平设有环状电极,在环状电极的上方设有环状电介质;所述的圆锥体的侧壁上还设有粉体输送口;所述的环状电极通过导线与电源一端相连接,同时接地,棒状电极上端通过导线穿过管塞与电源另一端相连接。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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