[发明专利]多晶硅废气淋洗系统

摘要

本发明提出了一种多晶硅废气淋洗系统。该系统包括：第一淋洗塔，利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第二淋洗塔，利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第一淋洗液循环池用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；第二淋洗液循环池，用于接收来自所述第一淋洗液循环池的淋洗液；废渣阻挡部件，用于阻止废渣从所述第一淋洗液循环池进入所述第二淋洗液循环池；第一循环泵，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第一淋洗塔内，第二循环泵，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第二淋洗塔内。利用该系统，能够有效地对多晶硅废气进行淋洗。

主权项

一种多晶硅废气淋洗系统，其特征在于，包括：第一淋洗塔，所述第一淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第二淋洗塔，所述第二淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第一淋洗液循环池，所述第一淋洗液循环池分别与所述第一淋洗塔和第二淋洗塔相连，用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；第二淋洗液循环池，所述第二淋洗液循环池与所述第一淋洗液循环池连通，用于接收来自所述第一淋洗液循环池的淋洗液；废渣阻挡部件，所述废渣阻挡部件设置在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池之间，用于阻止废渣从所述第一淋洗液循环池进入所述第二淋洗液循环池；第一循环泵，所述第一循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第一淋洗塔内；以及第二循环泵，所述第二循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第二淋洗塔内。