[发明专利]基板搬送装置及方法、部件安装装置、基板制造方法有效
| 申请号： | 201310027777.2 | 申请日： | 2013-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103228125B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 松井智仁 | 申请（专利权）人： | 重机自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板搬送装置及方法、部件安装装置、基板制造方法。该基本搬送装置具备第一导轨，用于在第一方向上搬送第一基板；第二导轨，用于在垂直于所述第一方向的第二方向上与所述第一导轨并排配置，并在所述第一方向搬送第二基板；第一升降单元，所述第一升降单元具有第一升降部，该第一升降部能在分别垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上移动，且配置在作为所述第一基板的升降位置的所述第一导轨上的第一位置的下方；以及第二升降单元，所述第二升降单元具有第二升降部，该第二升降部能在所述第三方向上移动，且在所述第一方向上与所述第一升降部并排配置在作为所述第二基板的升降位置的所述第二导轨上的第二位置的下方。 | ||
| 搜索关键词： | 基板搬送 装置 方法 部件 安装 制造 | ||
【主权项】：
一种基板搬送装置，具备：第一导轨，所述第一导轨在第一方向上搬送第一基板；第二导轨，所述第二导轨在垂直于所述第一方向的第二方向上与所述第一导轨并排配置，并在所述第一方向搬送第二基板；第一升降单元，所述第一升降单元具有第一升降部，所述第一升降部能在分别垂直于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上移动，且配置在作为所述第一基板的升降位置的所述第一导轨上的第一位置的下方；以及第二升降单元，所述第二升降单元具有第二升降部，所述第二升降部能在所述第三方向上移动，且在所述第一方向上与所述第一升降部并排配置在作为所述第二基板的升降位置的所述第二导轨上的第二位置的下方。
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