[发明专利]一种联接结合面微动位移的测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种联接结合面微动位移的测量装置及其检测方法，属于联接唯一检测技术领域。本发明的联接结合面微动位移的测量装置，包括激光器，所述激光器通过光纤连接有若干分支器，每个分支器都通过光纤与环形器连接，所述环形器通过光纤分别连接有激光探测器和测量头，其中测量头置于测量孔内联接结合面一侧的零件上，在测量孔内联接结合面的另一侧的零件上设有反光头，所述测量头与反光头相互配对。本发明的联接结合面微动位移的测量装置及其测量方法，直接探测结合面的相对位移，避免了用其他间接物理量进行状态监测所带来的干扰因素，测量精度高，对环境的适应能力强，能在高压、高温、腐蚀等恶劣环境中工作。

主权项

一种联接结合面微动位移的测量装置，其特征在于：它包括激光器（1），所述激光器（1）通过光纤连接有若干分支器（2），激光器（1）发出激光，经过光纤连接的分支器（2）等分为若干路入射激光，每个分支器（2）都通过光纤与环形器（3）连接，各路入射激光分别经光纤传至各个环形器（3），所述环形器（3）通过光纤分别连接有激光探测器（6）和测量头（4），其中测量头（4）置于测量孔内联接结合面（7）一侧的零件上，在测量孔内联接结合面（7）的另一侧的零件上设有反光头（5），各路入射激光从环形器（3）经光纤传递至测量头（4），一部分入射激光由测量头（4）的端面反射，形成了第一路反射激光，另一部分入射激光射出光纤，照射于反光头（5）上被反射，反射后的激光再次进入光纤形成第二路反射激光，所述测量头（4）与反光头（5）相互配对，当联接环节的结合面相对振动，产生微动位移时，第二路反射激光与第一路反射激光的相位差会随着振动位移而变化，两路反射激光离开测量头（4），经过光纤传至环形器（3），再经环形器（3）上连接的激光探测器（6）传出。