[发明专利]一种基于迈克尔逊光纤干涉仪垂直振动位移传感器

摘要

本发明公开了一种基于迈克尔逊光纤干涉仪的垂直振动位移检测系统，包括迈克尔逊光纤干涉仪和振动传感头。本发明系统设计独特，采用简单的结构可以有效的检测高频的垂直振动位移，具有精度高、响应快及动态范围大等优点。

主权项

一种基于迈克尔逊光纤干涉仪垂直振动位移传感器，其特征在于：包括激光器、与激光器连接的耦合器、与耦合器连接的迈克尔逊干涉臂光纤，所述迈克尔逊干涉臂光纤包括参考臂和信号臂，所述参考臂末端设置有反光镜，所述信号臂末端设置有对迈克尔逊干涉臂光纤的输出光进行准直的准直镜，还包括弹簧、质量块，所述弹簧将质量块支撑在封装壳上，所述质量块上端面上镀膜形成反光镜，所述信号臂的光进入准直镜在反光镜上产生反射，反射光耦合到信号臂并进入耦合器，与参考臂信号发生干涉，还设有探测器检测输出干涉信号，当平台T在垂直方向产生位移，迈克尔逊光纤干涉仪整体发生位移，由于质量块的惯性，在迈克尔逊干涉仪整体移动时，质量块保持相对静止，使得反光镜与扩束镜发生相对位移，从而将平台的位移经弹簧传递给质量块，使反光镜与扩束镜在垂直方向产生与平台位移等量的相对位移，信号臂以参考臂光程差发生变化，探测器对信号进行检测，得到平台垂直方向的振动位移量。