[发明专利]直梁屈曲静电式微机械光开关有效
| 申请号： | 201310013372.3 | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN103033885A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 田文超;山磊 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B26/08 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;朱红星 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直梁屈曲静电式微机械光开关，主要解决现有光开关驱动电压高、开关时间长、能耗高等问题。本发明包括：中间位置为菱形结构的微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、驱动电极对(305，306)、调节电极对(302，303)、微反射镜(314)和光纤(313)，其中：微梁(307)与固定基座(304)连为一体且在两者连接处采用跨度支撑结构(309)；固定基座(304)与外构架(310)通过楔形挤压结构(301)固定且两端设有导向机构（308）；调节电极对(302，303)采用梳齿状结构，且上下对称；外构架(310)的中间位置设有导向槽（312）；光纤(313)呈交叉垂直放置，微反射镜(314)固定在微镜支架(311)的前端。本发明具有驱动电压低、开关时间短、能耗低、开关阵列可扩展的优点，可用于光通信网络设备的关键光器件。 | ||
| 搜索关键词： | 屈曲 静电 式微 机械 开关 | ||
【主权项】：
一种直梁屈曲静电式微机械光开关，包括：微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、楔形挤压结构（301）、静齿驱动电极和动齿驱动电极构成的驱动电极对(305,306)、静齿调节电极和动齿调节电极构成的调节电极对(302,303)、微反射镜(314)和光纤(313)，其特征在于：固定基座(304)与微梁(307)连为一体，且在两者连接位置处采用跨度支撑结构(309)，用于提高微梁(307)所受到的轴向载荷；固定基座(304)与外构架(310)通过楔形挤压结构(301)固定，用于提高微梁(307)所受到的轴向载荷；固定基座(304)与外构架(310)的两端设有导向机构(308)，用于限制微梁(307)的左右摆动；调节电极对(302,303)采用梳齿状结构，固定在微梁(307)上，且上下对称；外构架(310)的中间位置设有导向槽(312)，用于限制微镜支架(311)的上下移动。
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