[发明专利]一种用于蓝宝石衬底的抛光液

摘要

本发明公开的一种用于蓝宝石衬底的抛光液，涉及抛光材料制备技术领域，是由下列重量百分比的原料制备而成：硅溶胶90-95、抛光加速剂0.05-2、络合剂0.05-3、pH值调节剂0.05-3，其余的为去离子水；具有去除速率高、抛光效果好、易清洗、成本低等特点，适用于蓝宝石衬底材料的抛光加工。

主权项

一种用于蓝宝石衬底的抛光液，其特征在于是由下列重量百分比的原料制备而成：硅溶胶   90‑95         抛光加速剂 0.05‑2络合剂 0.05‑3          pH值调节剂0.05‑3其余的为去离子水；所述的抛光加速剂是强氧化性盐类与常规无机盐的组合，两者的重量配比为1:1‑5；所述的络合剂是甘氨酸、EDTA、柠檬酸或苯并三氮唑中的一种或多种，当为多种时，各组份的配比为等份或其它比例；所述的pH值调节剂是乙二胺、三乙醇胺、三乙烯四胺或乙醇胺中的一种或多种，当为多种时，各组份的配比为等份或其它比例；其制备方法如下：在室温条件下，一边搅拌、一边将抛光加速剂加入到去离子水中，待完全溶解后，再加入络合剂，得混合水溶液；静置、冷却至室温，将混合水溶液加入硅溶胶中，边加边搅拌，控制加入流量在90‑110 ml/min，充分搅拌混合均匀，得抛光液；最后，用pH值调节剂将抛光液的pH值控制在9.0‑12.5，即成为用于蓝宝石衬底的抛光液。