[发明专利]扫描型探针显微镜的探针形状测定方法有效
| 申请号： | 201310008801.8 | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103196411B | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 渡边将史;百田洋海 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 肖日松,杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及扫描型探针显微镜的探针形状评价方法，用于在扫描型探针显微镜评价探针顶端形状。利用拥有针状构造的探针形状检测样本来测定探针顶端形状，求出从顶端起的多个距离处的剖面的半径，基于这些而算出将探针顶端形状近似为圆时的曲率半径。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 形状 评价 方法 | ||
【主权项】：
一种探针形状测定方法，利用扫描型探针显微镜对探针的顶端形状进行形状测定而进行该探针的顶端的尖锐度的评价，其特征在于，包括：接近工序，使所述扫描型探针显微镜所具备的所述探针的顶端相对于相对配置的评价用试样的表面而相对地接触或接近至规定间隔；扫描工序，使所述探针的顶端和所述评价用试样的表面之间的距离为一定并同时进行规定的扫描；数据取得工序，取得所述评价用的试样的表面形状；数据提取工序，对于以所述取得的数据之中的从所述探针顶端下降的中心轴上的规定的高度h和由在该高度处测定的形状的外缘形成的剖面面积S求得的虚拟圆的半径r作为一组的数据组，提取变更所述高度h后的2组以上；以及计算工序，利用2组以上的该提取数据组的所述高度h和所述半径r，由下式计算将所述探针的顶端近似为球状的情况下的曲率半径Rtip，。
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