[发明专利]放电电离电流检测器及其时效处理方法有效
申请号: | 201280071210.9 | 申请日: | 2012-03-15 |
公开(公告)号: | CN104169717A | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
发明(设计)人: | 堀池重吉;品田惠;西本尚弘 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01N27/68 | 分类号: | G01N27/68 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 时效处理是使用清洗气进行的,该清洗气是将惰性气体作为不纯物质混合在等离子气体中形成的。一边从气体入口(12)将清洗气供给至电介质管(4)内,一边将高压交流电压施加于电极(6),从而进行利用电介质阻挡放电的等离子体生成直到经过规定时间。这之后,将从气体入口(12)供给的气体切换为等离子气体,持续进行向电极(6)的高压交流电压的施加,以持续通过放电生成等离子体直到电流放大器(28)的输出信号稳定,将电介质管(4)以及管(5)内的清洗气全部置换为等离子气体。 | ||
搜索关键词: | 放电 电离 电流 检测器 及其 时效 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种时效处理方法,其是放电电离电流检测器的时效处理方法,所述放电电离电流检测器具备:等离子体生成部,所述等离子体生成部由电介质管和安装在该电介质管的外周的多个电极构成,通过一边使等离子气体在所述电介质管内流动,一边将高压交流电压施加于所述电极,使电介质阻挡放电在所述电介质管内连续发生;试样电离部,所述试样电离部连接在所述电介质管的下游端,利用所述等离子体生成部中的放电发生时的光将试样气体中的成分电离;以及离子检测部,所述离子检测部对在所述试样电离部中被电离了的试样成分进行检测,所述时效处理方法的特征在于,一边将在所述等离子气体中混入原子量比该等离子气体大的惰性气体而形成的混合气体作为清洗气供给至所述电介质管内,一边使电介质阻挡放电在所述等离子体生成部中连续发生一定时间。
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