[发明专利]多段线性电离棒和电离单元有效

专利信息
申请号: 201280070759.6 申请日: 2012-04-12
公开(公告)号: CN104247180B 公开(公告)日: 2016-11-02
发明(设计)人: 阿雷克西·科洛驰科夫;彼得·格夫特;史蒂文·伯纳德·海曼;莱斯利·W.·帕特里奇;格林伯里·贝德福德·布朗;马修·T.·安东内利 申请(专利权)人: 伊利诺斯工具制品有限公司
主分类号: H01T23/00 分类号: H01T23/00;H01T19/00;H05F3/04
代理公司: 上海脱颖律师事务所 31259 代理人: 脱颖
地址: 美国伊*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 披露一种具有至少四个元件的多段线性电离棒(10)。首先,所披露的棒可以包括具有至少一个定义轴线的线性离子发射器(20)的至少一个电离电池(16),所述发射器用于沿其长度建立离子云(22)。第二,所披露的棒(10)可以包括至少一个参比电极(32a,32b)。第三,所披露的棒(10)可以包括用于接收来自源的气体或空气并且用于将其传递通过线性发射器(20)以使得基本上没有气体/空气流动到离子云(22)中的歧管(24)。第四,所披露的棒(10)可以包括用于接收电离电压并且用于将其传递到线性发射器(20)由此建立离子云(22)的装置(20a,20b)。以此方式,所披露的棒(10)可以将来自等离子体区域的离子朝向电荷中和目标运输,而不会引起线性发射器(20)的显著振动并且没有来自气体/空气流的大量污染物到达线性发射器(20)。
搜索关键词: 线性 电离 单元
【主权项】:
一种线性电离棒,包括:至少一个限定轴线的线性离子发射器,所述限定轴线的线性离子发射器用于响应于对其施加的电离电压沿其长度建立离子云,所述离子云具有等离子体区域,所述等离子体区域具有外周边边界;装置,其用于接收电离电压并用于将所述电离电压传递到所述线性离子发射器以由此建立所述离子云;参比电极,其响应于对施加到所述参比电极的非电离电压的接收在所述离子云内呈现电场,所述电场导致离子离开所述等离子体区域;以及歧管,其用于接收来自源的气体并且用于使所述气体传递经过所述线性离子发射器,以使得至少一些所述气体与所述等离子体区域的所述外周边边界相切流动,但是基本上没有所述气体流动到所述等离子体区域中。
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